氣體質量流量控制器（Mass Flow Controller縮寫爲(wéi / wèi)MFC）用于(yú)對氣體的(de)質量流進行精密測量和(hé / huò)控制。它們在(zài)半導體集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、環保等多種領域的(de)科研和(hé / huò)生産中有着重要(yào / yāo)的(de)作用。典型應用場合有微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、氣相色譜儀以(yǐ)及其他(tā)分析儀器。

技術指标

名稱	主要(yào / yāo)參數
量程	10sccm/100sccm/1slpm/10slpm/20slpm
精度	±1%F.S.
氣體類型	H2、N2、Air、He（可定制）
響應時(shí)間	1s
使用壓力	≤0.3MPa
工作溫度	0~50℃
工作濕度	0~95%R.H.（非冷凝）
工作電壓	24V±10%/1A
接口類型	RS-232
控制方式	按鍵/RS-485/4~20ma
氣路材質	不(bù)鏽鋼/鋁合金
氣路接頭	多規格選擇（可定制）
尺寸	602680mm